固態微波源是采用24GH高頻微波，通過傳感器與管道之間電磁場的耦合，產生一個測量場。當被檢測介質從微波檢測場經過時，傳感器傳送低功率微波并接收物體反射回的能量。接收到的微波反射頻率與發射頻率產生頻差，從而在輸出端產生一低頻交流電壓，即微波傳感器檢測到運動介質的數量和流速。測量場的微波能量被固體顆粒反射回來并被接收器接收，根據多普勒原理，微波固體流量計僅流動的顆粒能被測量，結合記錄的顆粒數目和狀態可計算出流量（質量）。